CVD 일반
Introduction
기상으로 공급되는 chemical source의 reaction을 통하여 semiconductor substrate위에 film을 형성하는 CVD 공정에 대해 정리하였다.
Floating layer, Gibbs free energy에 의한 critical radius등을 다룬다.
▶ CVD (Chemical Vapor Deposition) system and process (pdf)
▶ CVD Appendix : Thermo Dynamics 0 ~ 3rd law, Concept of mole (pdf)